在不久的將來，我們將看到嵌入式STT-MRAM (eMRAM)出現在諸如物聯網(IoT)、微控制器(MCU)、汽車、邊緣運算和人工智能(AI)等應用中。美國EVERSPIN還提供了幾種獨立的MRAM產品，鎖定包括航天、汽車、儲存、工廠自動化、IoT、智慧能源、醫療和工業機器控制/運算等應用。
 
半導體工藝控制和支持技術供貨商KLA對MRAM作為一種新興的NVM技術的前景感到振奮，為IC制造商提供了一系列解決方案的組合，可幫助加速MRAM產品開發，確保成功實現量產并在生產中取得最佳良率。這些技術解決方案包括：
 
使用散射測量和成像的迭對量測系統進行圖案對準(patterning alignment)量測，使用光學散射測量CD和形狀計量系統進行關鍵尺寸和3D組件形狀測量以及run time patterning control數分析，以優化MRAM cell patterning 組件迭對、CD和形狀。
 
使用光譜橢圓偏振(SE)技術進行膜厚度和化學計量的測量，這些技術為MTJ迭層沉積提供了重要的關鍵參數。
 
MRAM堆棧沉積的電磁特性，可使用CAPRES電流平面穿隧(CIPTech)和MicroSense磁光Kerr效應，提供對預計的最終電池性能的早期反饋(MOKE)技術。CAPRESCIPTech是一種12點探針電阻技術，可在產品晶圓圖案化之前，針對MTJ迭層進行沉積、退火和磁化后的TMR和RA測量。MicroSense Polar Kerr MRAM (PKMRAM)則表征了磁性能，例如自由層和固定層的矯頑場，以及多層MTJ堆棧在沉積、退火和在毯覆薄膜或有圖案的晶圓上磁化。這種非接觸式全晶圓技術可測量自由層和固定層的磁性。
 
一系列控片和在線產品晶圓缺陷檢測和檢視系統(取決于靈敏度和采樣要求)，可以在線檢測關鍵缺陷，幫助工程師發現并解決可能影響良率和組件性能的工藝問題。
 
In-situ process control wafers，透過在工藝反應爐中擷取和記錄參數并用于可視化、診斷和控制工藝條件。
 


本文關鍵詞： MRAM

相關文章：?Everspin和Globalfoundries將其MRAM協議擴展到12nm工藝?

深圳市英尚微電子有限公司是一家專業的靜態隨機記憶體產品及方案提供商，十年來專業致力代理分銷存儲芯片IC, SRAM、MRAM、pSRAM、 FLASH芯片、SDRAM（DDR1/DDR2/DDR3）等,為客人提供性價比更高的產品及方案。
英尚微電子中國區指定的授權代理：VTI、NETSOL、JSC濟州半導體(EMLSI)、Everspin 、IPSILOG、LYONTEK、ISSI、CYPRESS、ISOCOME、PARAGON、SINOCHIP、UNIIC； 著名半導體品牌的專業分銷商  如：RAMTROM、ETRON、FUJITSU、LYONTEK、WILLSEMI。
 

?更多資訊關注SRAMSUN.   www.abab47.cn         0755-66658299